根据科技部网站公布的消息，国家重点支持的高新技术领域：
一、电子信息
二、生物与新医药
三、航空航天
四、新材料
五、高技术服务
六、新能源与节能
七、资源与环境
八、先进制造与自动化
其中，半导体新材料制备与应用技术被包含于“金属材料”类别下，属于新材料高新技术领域。
该类技术包括石墨烯制备及应用技术;大尺寸硅单晶生长、晶片抛光片、SOI片及SiGe/Si外延片制备加工技术;大型MOCVD关键配套材料、硅衬底外延和OLED照明新材料制备技术;大尺寸砷化镓衬底、抛光及外延片、GaAs/Si材料制备技术;红外锗单晶和宽带隙单晶及外延材料制备技术;第三代宽禁带半导体材料制备技术;高纯金属镓、铟、砷、锗、磷、镉半导体蒸馏、区熔提纯大型连续化工艺技术，高纯及超高纯有色金属材料精炼提纯技术及痕量杂质测试技术;低污染硅烷法高纯度电子级多晶硅提纯、后处理、区熔规模化生产技术等。
高污染、高能耗、低光电转换效率的太阳能电池用单晶、多晶硅制备加工技术除外。
